靶材

基于高纯金属制备及粉末冶金技术,形成了具有自主知识产权的系列靶材产品和技术,包括功能薄膜用靶材、装饰颜色靶材、硬质工具涂层用靶材、稀贵金属靶材、旋转靶材、相关技术服务,具备稀有特种靶材的研发生产能力。成果获省部级二等奖1项。

支撑能力

由专家教授组成经验丰富的研发团队,对特种功能靶材、粉末冶金靶材、阴极用多元低功函材料、相变存储用靶材、低熔点合金材料等有深入的研究,拥有先进完善的试验和小批量制备设备,具有丰富的制备经验。

研究方向
阴极用多元低功函材料

拥有完善的硼化物合成、成型设备,有经验丰富的研发团队,对高纯稀土硼化物的粉体制备方法、不同配比的稀土硼化物与稀散金属硼化物的物的功函数、硼化物的致密度、稀土硼化物表面的元素价态等进行了深入研究,对CeB6、LaxCe1-xB6、LaCePrB6、TiB2-LaB6、VB2-LaB6等硼化物之间的物有专门研究。

材料性能参数:
功函:<1.1ev;致密度:>97%;表面元素分布均匀性:<5%。

六硼化镧铈
空心阴极组件
相变存储用靶材

拥有完善的化合物合成、成型设备,有经验丰富的研发团队,对GeTeSb、TiTeSb、HfTeSb以及NbTeSb靶材的制备方法、中间合金、高致密度有深入的研究,对新的硫系化合物有丰富的制备经验。

材料性能参数:
尺寸:直径4寸;致密度:>90%;表面元素分布均匀性:<5%。

钛锑碲靶材
锑碲靶材
低熔点合金材料

拥有完善的低熔点合金制备设备,有经验丰富的研发团队,研究了超高热焓材料的成分、与其他导热材料的、对服役环境的影响等关键因素。对Bi系、Ga系低熔点合金有深入的研究,对低熔点合金与高导热材料的有丰富的制备经验。

材料性能参数:
热焓:>80J/g 密度:5kg/L。 使用温度范围:0-150℃。

GaInSn合金
Bi系低熔点合金
服务能力

具备靶材全工艺流程研制线以及完善的性能检测设备。
特种功能靶材的研发制备,靶材规格:直径φ2~φ205mm,靶面厚度>2mm;纯度:99.95%~99.999%

联系方式

联系人:吕宏 杨剑
联系方式:13693387561 13910053257
E-mail:lvhong@grinm.com