有色金属材料制备加工国家重点实验室是2005年1月经国家科技部批准在转制工业性科研院所中首批试点...
基于高纯金属制备及粉末冶金技术,形成了具有自主知识产权的系列靶材产品和技术,包括贵金属靶材(金靶、银靶、铂靶、铑靶、钪靶、钯靶、铂铑靶、锇靶、铱钯、锇合金靶等)、合金靶材(硅靶、钽靶、镍铬靶、钨钛靶、铜镍钛靶、碳化钛靶)、氧化物靶(氧化铝靶、二氧化硅靶、二硫化钼靶、掺杂二硫化钨靶等)、相变存储靶材(钛锑碲靶材、锗锑靶材)、薄膜太阳能电池用靶材、阴极用多元低功函靶材及相关技术服务,具备稀有特种靶材的研发生产能力,相关成果获省部级二等奖1项。
功能薄膜靶材