基于高纯金属制备及粉末冶金技术,形成了具有自主知识产权的系列靶材产品和技术,包括刀具硬质膜用铝铬、铝铬硅、铝铬硼和铝钛硅等粉末冶金靶材,靶材规格涵盖圆形靶材、大尺寸方形靶材、管靶等。

功能薄膜靶材

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